罩固定工具及电感耦合等离子处理装置

摘要

本发明提供罩固定工具及电感耦合等离子处理装置。罩固定工具在电感耦合等离子处理装置中能抑制覆盖窗部件的下表面的罩的破损和微粒的产生，容易地装拆罩并提高气体导入的设计自由度。电介体罩固定工具(18)具备对第一部分罩(12A)的一部分及第二部分罩(12B)的一部分分别进行支承的支承部(18a)和基部(18b)。基部的上部具有突出成圆筒状的凸部(18b1)，在凸部的周围形成有螺纹牙(18b2)。在基部中的凸部的内部，形成有与气体导入路(21b)连接的气体导入路(101)。气体导入路构成气体流路的一部分，使气体导入路和处理室(5)的内部连通。气孔(101a)贯穿基部的底壁设置，构成气体导入路的一部分。

主权项

一种电感耦合等离子处理装置的罩固定工具，该罩固定工具使用于电感耦合等离子处理装置并对罩进行固定，该电感耦合等离子处理装置具备：处理室，其具有构成顶壁部分的窗部件，实施等离子处理；气体供给装置，其向上述处理室供给气体；高频天线，其配置于上述窗部件的上方，在上述处理室内形成感应电场；支承部件，其对上述窗部件进行支承；以及上述罩，其对上述窗部件的下表面进行覆盖，其特征在于，具备对上述罩进行支承的支承部和与上述支承部连接的基部，在上述基部设有气体导入路，该气体导入路构成从上述气体供给装置向上述处理室供给气体的气体流路的一部分。