多处气体馈送装置与方法

摘要

本发明的实施例大致提供用于将处理气体导入处理腔室中数个位置处的装置与方法。在一个实施例中，喷气头的区以及喷气头的角落区供给来自气源的处理气体，气源具有调控区中气流的第一质流控制器，以及调控角落区中气流的第二质流控制器。在另一实施例中，喷气头的区供给来自第一气源的处理气体，以及喷气头的角落区供给来自第二气源的处理气体。在另一实施例中，喷气头的区供给来自第一气源的处理气体，以及喷气头的每一角落区供给来自个别气源的处理气体。

主权项

一种处理设备，其包含：喷气头；背板，其与所述喷气头相邻，使得气室形成在所述背板与所述喷气头之间；第一气源，其与穿过所述背板的中央区形成的开口流体连通；以及第二气源，其与穿过所述背板的角落区形成的开口流体连通。