| 发明名称 | 电容式传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭露一种电容式传感器及其制造方法。该电容式传感器包括：一基板；一第一电极，设置在该基板上；一上盖，具有一穿孔与该穿孔以外的一腔体；一第二电极，设置在该上盖上且横跨该穿孔；其中该第二电极是可变形的，以响应来自该穿孔的压力波动，且该第二电极与该第一电极构成一电容器，该电容器具有可随着该压力波动而改变的电容值；以及该腔体定义出该可变形的第二电极的一背腔室。 | ||
| 申请公布号 | CN102196345A | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN201010129471.4 | 申请日期 | 2010.03.03 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 何宗哲;陈荣泰;李耀荣;黄肇达;潘力齐;谢佑圣 |
| 分类号 | H04R19/04(2006.01)I;H04R31/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种电容式传感器，包括：基板；第一电极，设置在该基板上；上盖，具有穿孔与该穿孔以外的一腔体；第二电极，设置在该上盖上且横跨该穿孔；其中该第二电极是可变形的，以响应来自该穿孔的压力波动，且该第二电极与该第一电极构成一电容器，该电容器具有可随着该压力波动而改变的电容值；以及该腔体定义出该可变形的第二电极的一背腔室。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||