| 发明名称 |
EVALUATION OF CHAMBER COMPONENTS HAVING TEXTURED COATINGS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1485515(B1) |
申请公布日期 |
2011.09.21 |
| 申请号 |
EP20030714431 |
申请日期 |
2003.03.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LIN, SHYH-NUNG;MENZIE, MARK D.;SUN, NIMOAL |
| 分类号 |
C23C14/00;G01B15/04;C23C4/12;C23C14/56;C23C16/44;G01B15/08;G01N23/20;G01N23/203;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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