尤其用于为制造多晶硅的反应器供电的供电装置

摘要

本发明涉及供电装置，尤其用于对按西门子法制造多晶硅的反应器中的硅细棒供电，具有连接到三相供电网的输入端(L1，L2，L3)、分组为三个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)为能连接到输出端的负载、尤其是硅细棒供电的输出端、调节输出端上电压的三个调节装置组(S1，S2，S3)及在输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)之一的输出端并联连接和串联连接间切换的三个转换装置组(U1，U2，U3)，每个调节装置组(S1，S2，S3)至少在供电装置一种状态下经由一个转换装置组(U1，U2，U3)与一个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)相连。

主权项

一种供电装置，尤其用于对根据西门子方法制造多晶硅的反应器中的硅细棒供电，‑具有输入端(L1，L2，L3)，用于连接到三相供电网，‑具有输出端，这些输出端被分组为三个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)，用于为能连接到所述输出端的负载、尤其是为硅细棒供电，‑具有三个调节装置组(S1，S2，S3)，调节装置用于调节所述输出端上的电压，并且‑具有三个转换装置组(U1，U2，U3)，转换装置用于在所述输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)之一的输出端进行并联连接和串联连接之间切换，‑其中每个调节装置组(S1，S2，S3)至少在所述供电装置的一种状态下经由一个转换装置组(U1，U2，U3)与一个输出端组(A11至A13，A21至A24，A31至A33)相连。