硅麦克风的制造方法

摘要

本发明提供了一种硅麦克风的制造方法，该方法是采用氧化硅作为支撑层的材料，这样可以把背板与支撑层固定连接的一端垫高，进而降低产品的寄生电容、提高绝缘电阻。

主权项

一种制造硅麦克风的方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：步骤1：提供一硅基底，硅基底表面上沉积第一绝缘层，在第一绝缘层上沉积振膜；步骤2：在第一绝缘层和振膜上沉积一定厚度的氧化硅以作为支撑层，在该支撑层上沉积第二绝缘层；步骤3：在所述第二绝缘层上沉积背板，在背板上刻蚀出贯穿背板的声孔；步骤4：在硅基底和第一绝缘层上刻蚀出贯穿二者的背腔；步骤5：通过声孔释放与振膜振动部分相对的支撑层以形成振动空间。