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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS OF WAFER
摘要
申请公布号
KR20110103237(A)
申请公布日期
2011.09.20
申请号
KR20100022464
申请日期
2010.03.12
申请人
MAJO INDUSTRY CO., LTD.
发明人
MOON, BYOUNG TAE
分类号
H01L21/02;H01L21/027
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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