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发明名称
PROBE FOR TEMPERATURE MEASUREMENT, TEMPERATURE MEASURING SYSTEM AND TEMPERATURE MEASURING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20110103331(A)
申请公布日期
2011.09.20
申请号
KR20110018891
申请日期
2011.03.03
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
MATSUDO TATSUO
分类号
G01K11/12;G01J5/02;H01L21/324
主分类号
G01K11/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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