发明名称 aparelho pulverizador catódico e processo para pulverização
摘要 APARELHO PULVERIZADOR CATóDICO E PROCESSO PARA PULVERI ZAçãO. Trata-se a presente invenção, de um cátodo de pulverização possuindo um alvo cilíndrico de pulverização oco que é fixado ou girado na altura de seu eixo central e um conjunto de ímãs internos que é girado axialmente dentro do alvo do pulverizador.
申请公布号 BRPI0619284(A2) 申请公布日期 2011.09.20
申请号 BR2006PI19284 申请日期 2006.10.24
申请人 SOLERAS LTD. 发明人 DEAN PLAISTED;ALAN PLAISTED
分类号 C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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