摘要 |
APARELHO PULVERIZADOR CATóDICO E PROCESSO PARA PULVERI ZAçãO. Trata-se a presente invenção, de um cátodo de pulverização possuindo um alvo cilíndrico de pulverização oco que é fixado ou girado na altura de seu eixo central e um conjunto de ímãs internos que é girado axialmente dentro do alvo do pulverizador.
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