SUSCEPTOR AND SUBTRATE TREATING APPRATUS THE SAME,申请号KR20100021737-传众专利搜索

发明名称	SUSCEPTOR AND SUBTRATE TREATING APPRATUS THE SAME
摘要
申请公布号	KR20110102635(A)	申请公布日期	2011.09.19
申请号	KR20100021737	申请日期	2010.03.11
申请人	THERMTECS CO., LTD.	发明人	KO, SUNG KEUN
分类号	H01L21/683	主分类号	H01L21/683
代理机构		代理人
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