发明名称 METHOD FOR FABRICATING CONTACT PLUG IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110102763(A) 申请公布日期 2011.09.19
申请号 KR20100021945 申请日期 2010.03.11
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 HA, GA YOUNG;YOO, CHANG JUN
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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