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发明名称 APPARATUS FOR DEPOSITING EPITAXIAL LAYER ON WAFER
摘要
申请公布号 KR20110101556(A) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 KR20100020626 申请日期 2010.03.09
申请人 LG SILTRON INCORPORATED 发明人 SEO, BYUNG SOO
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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