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发明名称
Integrated nitride-based acoustic wave devices and methods of fabricating integrated nitride-based acoustic wave devices
摘要
申请公布号
KR101065096(B1)
申请公布日期
2011.09.16
申请号
KR20057016258
申请日期
2004.03.01
申请人
发明人
分类号
H03H9/02;H01L27/20;H03H3/08;H03H9/05;H03H9/145
主分类号
H03H9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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