发明名称 Integrated nitride-based acoustic wave devices and methods of fabricating integrated nitride-based acoustic wave devices
摘要
申请公布号 KR101065096(B1) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 KR20057016258 申请日期 2004.03.01
申请人 发明人
分类号 H03H9/02;H01L27/20;H03H3/08;H03H9/05;H03H9/145 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
地址