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发明名称 METODO DI FOTOLITOGRAFIA AD ELEVATA RISOLUZIONE PER LA REALIZZAZIONE DI NANOSTRUTTURE, IN PARTICOLARE NELLA FABBRICAZIONE DI DISPOSITIVI ELETTRONICI INTEGRATI
摘要
申请公布号 ITTO20100193(A1) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 IT2010TO00193 申请日期 2010.03.15
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 PATTI DAVIDE GIUSEPPE;PUCCIA DARIA
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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