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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20110101924(A) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 KR20100021295 申请日期 2010.03.10
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OH, SEUNG CHUL
分类号 H01L21/336;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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