发明名称 APPARATUS FOR FORMING THIN FILMS
摘要
申请公布号 KR20110101706(A) 申请公布日期 2011.09.16
申请号 KR20100020912 申请日期 2010.03.09
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 JU, CHULL WON
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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