发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINER VAKUUMWICKELFOLIE
摘要
申请公布号 AT524575(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20070831980T 申请日期 2007.11.16
申请人 ULVAC, INC. 发明人 HIRONO, TAKAYOSHI;NOMURA, TSUNEHITO;TADA, ISAO;NAKATSUKA, ATSUSHI
分类号 C23C14/00;C23C14/56 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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