发明名称 CARRIERSYSTEM UND VERFAHREN ZUM PROZESSIEREN EINER MEHRZAHL VON SUBSTRATEN, DIE AM CARRIERSYSTEM FIXIERT SIND
摘要
申请公布号 AT522928(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20080709256T 申请日期 2008.02.28
申请人 Q-CELLS SE 发明人 MUELLER, JOERG;HLUSIAK, MARKUS
分类号 H01L21/673;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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