发明名称 |
CARRIERSYSTEM UND VERFAHREN ZUM PROZESSIEREN EINER MEHRZAHL VON SUBSTRATEN, DIE AM CARRIERSYSTEM FIXIERT SIND |
摘要 |
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申请公布号 |
AT522928(T) |
申请公布日期 |
2011.09.15 |
申请号 |
AT20080709256T |
申请日期 |
2008.02.28 |
申请人 |
Q-CELLS SE |
发明人 |
MUELLER, JOERG;HLUSIAK, MARKUS |
分类号 |
H01L21/673;H01L21/683;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/673 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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