VERTICAL BOAT FOR RAPID THERMAL PROCESS,申请号KR20100019629-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VERTICAL BOAT FOR RAPID THERMAL PROCESS
摘要
申请公布号	KR20110100684(A)	申请公布日期	2011.09.15
申请号	KR20100019629	申请日期	2010.03.05
申请人	LEE, KYOUNG SHICK	发明人	LEE, KYOUNG SHICK
分类号	H01L21/324;H01L21/02	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
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