发明名称 VORRICHTUNG ZUM BEDAMPFEN VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 AT520799(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20050023354T 申请日期 2005.10.26
申请人 APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG 发明人 KLEMM, GUENTER
分类号 C23C14/04;C23C14/56;H01G13/00 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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