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发明名称 PROCESSING CHAMBER AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20110100698(A) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 KR20100019667 申请日期 2010.03.05
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, MYUNG JIN;KO, BU JIN
分类号 H01L21/02;H01L21/306 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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