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发明名称
VERFAHREN ZUM FORMEN VON QUARZGLAS
摘要
申请公布号
AT521580(T)
申请公布日期
2011.09.15
申请号
AT20050765431T
申请日期
2005.06.29
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
ABE, TETSUYA;YAJIMA, SHOUJI
分类号
C03B20/00;C03B11/00;G03F1/60;H01L21/027
主分类号
C03B20/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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