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发明名称 INTERFEROMETERVORRICHTUNG UND VERFAHREN
摘要
申请公布号 AT524056(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20080168889T 申请日期 2008.11.12
申请人 CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA - RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT 发明人 KOTTLER, CHRISTIAN;KAUFMANN, ROLF
分类号 H05G1/02;G01B9/02;G01B15/02;G01N23/04 主分类号 H05G1/02
代理机构 代理人
主权项
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