| 发明名称 |
AUTOMATISIERUNG DER STRAHLSTEUERUNG IN RASTERELEKTRONENMIKROSKOP-VORRICHTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT522922(T) |
申请公布日期 |
2011.09.15 |
| 申请号 |
AT20000400599T |
申请日期 |
2000.03.06 |
| 申请人 |
SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
XU, LI;BARNARD, RICHARD |
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/28;H01J37/21 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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