Verfahren zur Beschichtung von Oberflächen mit einer elektrisch leitfähigen diamantähnlichen Schicht, elektrisch leitfähige diamantähnliche Schicht, hergestellt durch das Verfahren, Werkstück mit der nach dem Verfahren hergestellten elektrisch leitfähigen diamantähnlichen Schicht, Verfahren zur Herstellung des Werkstücks mit der elektrisch leitfähigen diamantähnlichen Schicht und Verfahren zur Bestimmung der Position des Werkstücks

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von Oberflächen mit einer elektrisch leitfähigen diamant-ähnlichen Schicht mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung. Erfindungsgemäß umfasst die Gasatmosphäre, aus der die Beschichtung abgeschieden wird, ein kohlenstoffhaltiges Gas sowie ≥ 0,01 Volumen-% bis ≤ 50 Volumen-% Sauerstoff, ≥ 0,01 Volumen-% bis ≤ 70 Volumen-% Stickstoff und ≥ 0,01 Volumen-% bis ≤ 10 Volumen-% Argon, wobei die Summe der vorgenannten Komponenten ≤ 100 Volumen-% ausmacht. Das erfindungsgemäße Verfahren stellt eine diamantähnliche Schicht zur Verfügung, die eine ausreichende elektrische Leitfähigkeit aufweist