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发明名称 HALBLEITEROBERFLÄCHENBEHANDLUNG UND DABEI VERWENDETE MISCHUNG
摘要
申请公布号 AT521692(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20030810398T 申请日期 2003.10.10
申请人 BASF SE 发明人 BOERNER, MARC;KILIAN, GERNOD;RHEIN, RUDOLF;ARNOLD, LUCIA;SCHUSTER, MICHAEL;LEOPOLD, ALEXANDER
分类号 C11D7/06;C11D3/39;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/306 主分类号 C11D7/06
代理机构 代理人
主权项
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