| 摘要 |
<p>Le dispositif de quantification du dégazage d'un équipement placé dans une enceinte à vide comporte une lame métallique (10) en matériau ferromagnétique comportant une extrémité fixe (11) et une extrémité libre (12), la lame étant munie d'un dispositif de refroidissement (13) et d'un dispositif de mesure de sa température intrinsèque (14, 22), un électro- aimant (15) d'excitation de la lame (10), un capteur de mesure (16, 17) de l'excitation de l'extrémité libre (12) de la lame relié à un dispositif d'acquisition (20) des mesures et de calcul (21) d'au moins une fréquence d'oscillation de l'extrémité libre de la lame, le dispositif d'acquisition et de calcul (20, 21) étant relié à un dispositif (24) de calcul d'une densité surfacique d'une masse déposée sur la lame.</p> |
