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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON INTEGRIERTEN MEMS- SCHALTUNGEN
摘要
申请公布号
AT523895(T)
申请公布日期
2011.09.15
申请号
AT20080733380T
申请日期
2008.04.22
申请人
SILVERBROOK RESEARCH PTY. LTD
发明人
MCAVOY, GREGORY JOHN;SILVERBROOK, KIA;KERR, EMMA ROSE;BAGNAT, MISTY;LAWLOR, VINCENT PATRICK
分类号
H01L21/78;B41J2/16
主分类号
H01L21/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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