发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VOM DÜNNEN METALLOXIDFILM
摘要
申请公布号 AT524574(T) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 AT20020768137T 申请日期 2002.09.30
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY 发明人 FUKUHISA, KOJI;NAKAJIMA, AKIRA;SHINOHARA, KENJI;WATANABE, TOSHIYA;OHSAKI, HISASHI;SERIKAWA, TADASHI
分类号 C23C8/36;C01B13/14;C01B13/28;C23C8/02;C23C14/08;C23C14/58;C23C18/14;C23C26/00;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/52;H01L31/0224;H01L31/18 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
地址