| 发明名称 | 同时将至少两个圆柱形工件切分成多个晶片的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种利用线排长度为LG的多线锯同时将至少两个圆柱形工件切分成多个晶片的方法，包括如下步骤：(a)从具有不同长度的工件库存中选择数量为n≥2的工件，使得满足不等式，<mrow> <msub> <mi>L</mi> <mi>G</mi> </msub> <mo>≥</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>·</mo> <msub> <mi>A</mi> <mi>min</mi> </msub> <mo>+</mo> <munderover> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>i</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mi>n</mi> </munderover> <msub> <mi>L</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>同时使不等式(1)的右侧尽可能大，其中Li表示所选工件的长度，i＝1...n，Amin表示预定最小间距，(b)将n个工件沿纵向顺次固定在安装板上，同时分别保持工件之间的间距A≥Amin，选择A使得满足不等式，<mrow> <msub> <mi>L</mi> <mi>G</mi> </msub> <mo>≥</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>·</mo> <mi>A</mi> <mo>+</mo> <munderover> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>i</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mi>n</mi> </munderover> <msub> <mi>L</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>(c)将其上固定有工件的安装板夹紧在多线锯中，以及(d)利用多线锯垂直于工件纵向轴线切分n个工件。发明还涉及这样一种方法，其中，晶片堆在切割之后通过隔片彼此分隔开，同时受到侧向支承。 | ||
| 申请公布号 | CN101168270B | 申请公布日期 | 2011.09.14 |
| 申请号 | CN200710153271.0 | 申请日期 | 2007.09.29 |
| 申请人 | 硅电子股份公司 | 发明人 | A·胡贝尔;A·海尔迈尔;C·拉德施皮勒;H·塞霍费尔 |
| 分类号 | B28D5/04(2006.01)I | 主分类号 | B28D5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 蔡胜利 |
| 主权项 | 一种利用线排长度为LG的多线锯同时将至少两个圆柱形工件切分成多个晶片的方法，包括如下步骤：(a)从具有不同长度的工件库存中选择数量为n≥2的工件，使得满足不等式(1)， <mrow> <msub> <mi>L</mi> <mi>G</mi> </msub> <mo>≥</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>·</mo> <msub> <mi>A</mi> <mi>min</mi> </msub> <mo>+</mo> <munderover> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>i</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mi>n</mi> </munderover> <msub> <mi>L</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>同时使不等式(1)的右侧尽可能大，其中Li表示所选工件的长度，i＝1...n，Amin表示预定最小间距，(b)将n个工件沿纵向顺次固定在安装板上，同时分别保持工件之间的间距A≥Amin，选择A使得满足不等式(2)， <mrow> <msub> <mi>L</mi> <mi>G</mi> </msub> <mo>≥</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mi>n</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>·</mo> <mi>A</mi> <mo>+</mo> <munderover> <mi>Σ</mi> <mrow> <mi>i</mi> <mo>=</mo> <mn>1</mn> </mrow> <mi>n</mi> </munderover> <msub> <mi>L</mi> <mi>i</mi> </msub> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mo>-</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>2</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>(c)将其上固定有工件的安装板夹紧在多线锯中，以及(d)利用多线锯垂直于工件纵向轴线切分n个工件。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||