一种新型酸性钼铝蚀刻液和制备工艺

摘要

本发明公开了一种新型酸性钼铝蚀刻液以及其制备工艺。该新型酸性钼铝蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、金属硝酸盐和纯水，上述原料中磷酸、醋酸、硝酸经强酸性阳离子交换树脂控制和去除其中的杂质离子后，由六种原料混合均匀而制成。该蚀刻液制备工艺包括常温常压下向保持配料罐搅拌器转速，向配料罐中依次加入磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、硝酸钾、纯水，充分搅拌后通入过滤器过滤制成钼铝蚀刻液。本发明中的钼铝蚀刻液颗粒度小，纯度高，可控制蚀刻角度和不同金属层的蚀刻量，提高蚀刻产品的良率。

主权项

一种新型酸性钼铝蚀刻液，其特征在于，所述钼铝蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、氯化钾、金属硝酸盐和纯水，上述原料经混合均匀而制成；所述原料中每种原料的重量百分比分别为：磷酸68％～70％、醋酸12％～14％、硝酸5％～6％、金属硝酸盐0.1％～0.2％、氯化钾0.2％～0.3％、其余为纯水；所述磷酸、醋酸、硝酸浓度分别为：磷酸85.5％、醋酸99.8％、硝酸61.5％。