用于真空腔室的进/出门

摘要

本发明提供一种其尺寸适用于大面积基板的负载锁定腔室。该负载锁定腔室包含外壳、活动门以及门致动组件，其中该外壳包含门和主体，该主体具有至少两个可密封口，该活动门与可密封口的至少一个连接，并且该门致动组件连接在该门与该外壳之间。该门致动组件还包含一对第一致动器以及一对第二致动器，第一致动器连接至该门，用以使该门在第一方向上移动，第二致动器用以使该门在第二方向上移动，该第二方向与该第一方向垂直。

主权项

一种尺寸适用于大面积基板的真空腔室，包括：外壳，所述外壳包含主体，所述主体具有至少一个可密封口；活动门，与所述可密封口连接；以及门致动组件，其连接在所述门与所述外壳之间，所述门致动组件包含：第一致动器，其连接至所述门，以用于在第一方向上移动所述门；以及第二致动器，用以在第二方向上移动所述门，且所述第二方向与所述第一方向垂直。