发明名称 SIMULATION APPARATUS, SIMULATION METHOD, SIMULATION PROGRAM, AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM IN WHICH THAT PROGRAM HAS BEEN RECORDED
摘要
申请公布号 EP1860582(B1) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 EP20050720996 申请日期 2005.03.17
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 FURUYA, ATSUSHI;SHIMIZU, KOICHI
分类号 G06F19/00;G06F17/50;G11B5/39;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/3065;H01L43/08;H01L43/12 主分类号 G06F19/00
代理机构 代理人
主权项
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