发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE USING CARBON NANOTUBE AND METHOD OF MANUFACTURING THEROF
摘要
申请公布号 KR101064423(B1) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 KR20090026548 申请日期 2009.03.27
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;B82B3/00;B82Y10/00;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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