集成惯性传感器与压力传感器及其形成方法

摘要

一种集成惯性传感器与压力传感器及其形成方法，其中集成惯性传感器与压力传感器包括：第一衬底，第二衬底和第三衬底；位于第一衬底的第一表面的至少一层或者多层导电层；惯性传感器的可移动敏感元素，采用第一区域的第一衬底形成；所述第二衬底与第一衬底上的导电层的表面结合；所述第三衬底与第一衬底形成的惯性传感器的可移动敏感元素的一侧结合，且所述第三衬底和第二衬底位于所述可移动敏感元素的相对两侧；敏感薄膜至少包括第二区域的第一衬底、或者导电层中的一层。通过采用第一衬底形成惯性传感器的可动电极、采用第一衬底或者导电层形成压力传感器的敏感薄膜，形成的集成压力传感器和惯性传感器的体积较小，成本低，而且封装后可靠性高。

主权项

一种集成惯性传感器与压力传感器，其特征在于，包括：第一衬底，包括第一表面和与之相对的第二表面，所述第一衬底分为第一区域和第二区域；至少一层或者多层导电层，形成于所述第一衬底的第一表面；惯性传感器的可移动敏感元素，采用第一区域的第一衬底形成；第二衬底和第三衬底，所述第二衬底与所述第一衬底上的导电层的表面结合；所述第三衬底与所述第一衬底形成的惯性传感器的可移动敏感元素的一侧结合，且所述第三衬底和所述第二衬底分别位于所述惯性传感器的可移动敏感元素的相对两侧；压力传感器的敏感薄膜，至少包括第二区域的第一衬底、或者至少包括第二区域的第一衬底上的导电层中的一层。