一种圆弧式轮廓仪测头及其测量方法

摘要

本发明公开了一种圆弧式轮廓仪测头及其测量方法，该圆弧式轮廓仪测头包括探针、连杆、精密圆弧块、光栅、回转轴和精密轴承组成。本测头通过直接测量精密圆弧块的转动角度来准确得到探针尖端的实际坐标，从而避免传统轮廓仪测头所具有针尖实际坐标和测得坐标有偏差和由杠杆转动角度与传感器输出的位移探测信号之间的非线性关系而产生的测量误差等缺点。消除了转动角度对量程的限制，具有测量量程大、结构简单和精度高等优点。

主权项

一种圆弧式轮廓仪测头，其特征在于：包括精密回转轴、精密轴承、精密圆弧块、光栅传感器、连杆和探针；所述头端连杆、中端连杆和尾端连杆依次刚性头尾相接，头端连杆和尾端连杆相互平行，中端连杆分别与头端连杆和尾端连杆垂直；所述头端连杆的头端固定连接有探针，尾端连杆的中间设置有精密圆弧块，该精密圆弧块上面上贴有光栅。