发明名称 |
具有改进的驱动结构的集成微机电陀螺仪 |
摘要 |
一种集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”),配备有:至少第一驱动质量块(2a),当驱动电极的组件(13)偏置时,被驱动为具有沿着第一轴(x)的第一驱动运动,当存在集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”)的旋转时,第一驱动运动产生至少一个感测运动;以及至少第二驱动质量块(2b),被驱动为具有沿着垂直于第一轴(x)的第二轴(y)的第二驱动运动,当存在集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”)的旋转时,第二驱动运动产生至少一个相应的感测运动。该集成MEMS陀螺仪还配备有弹性地耦合第一驱动质量块(2a)和第二驱动质量块(2b)的第一弹性耦合元件(12a),所述耦合的方式使得以给定运动比率耦合第一驱动运动到所述第二驱动运动。 |
申请公布号 |
CN102183246A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201010625192.7 |
申请日期 |
2010.12.24 |
申请人 |
意法半导体股份有限公司 |
发明人 |
G·卡扎尼加;L·科多纳托 |
分类号 |
G01C19/08(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01C19/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
王茂华 |
主权项 |
一种集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”),包括:‑至少第一驱动质量块(2a),被设计成当驱动电极的组件(13)偏置时,被驱动为具有沿着第一轴(x)的第一驱动运动,所述第一驱动运动设计成当存在所述集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”)的旋转时,产生至少一感测运动;以及‑至少第二驱动质量块(2b),设计成被驱动为具有沿着垂直于所述第一轴(x)的第二轴(y)的第二驱动运动,所述第二驱动运动被设计成当存在所述集成MEMS陀螺仪(1;1’;1”)的旋转时,产生至少一个相应的感测运动,其特征在于,包括被配置成弹性地耦合所述第一驱动质量块(2a)和所述第二驱动质量块(2b)的第一弹性耦合元件(12a),所述耦合的方式使得以给定运动比率耦合所述第一驱动运动到所述第二驱动运动。 |
地址 |
意大利阿格拉布里安扎 |