可移动转移腔室和包含可移动转移腔室的衬底处理设备

摘要

一种衬底处理设备包含：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一可含有一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向而安置的至少一个轨道和沿着所述至少一个轨道而移动的至少一个可移动转移腔室，其中所述至少一个可移动转移腔室在移动时气压上与外部隔离。

主权项

一种衬底处理设备，其包括：复数个模块，其沿着一第一方向而安置，所述复数个模块中的每一者具有一用于容纳一衬底的内部空间；和一转移单元，其在所述复数个模块之间转移所述衬底，所述转移单元包含沿着所述第一方向在水平面上安置的第一和第二轨道和分别沿着所述第一和第二轨道而移动的第一和第二可移动转移腔室，其中所述第一和第二可移动转移腔室在移动时气压上与一外部隔离，其中所述第一可移动转移腔室在所述第二可移动转移腔室之下移动，其中所述第一及第二可移动转移腔室在平面图中彼此重叠，其中所述第一及第二可移动转移腔室分别沿着所述第一和第二轨道且与所述水平面平行而移动，以使得第一及第二可移动转移腔室在不破坏压力条件的情况下与所述复数个模块连接。