发明名称 Side channel pumping stage
摘要 <p>Die Erfindung beschreibt eine Seitenkanalpumpstufe mit auf einer Welle (10) befestigten Rotorelementen (12) und Statorelementen (14a, 14b), welche mit den feststehenden Teilen der Pumpe verbunden sind. An den Rotorelementen sind auf einem oder mehreren konzentrischen Ringen Schaufeln (16, 18) angeordnet. In den Statorelementen (14a, 14b) sind ein oder mehrere konzentrische Kanäle (22a, 24a) eingearbeitet, in welche die Schaufeln der Rotorelemente eingreifen. Die Kanäle können so angeordnet sein, dass sie eine parallele Gasführung oder, mit Hilfe von Verbindungskanälen (30), eine serielle Gasführung erlauben. </p>
申请公布号 EP1541871(A3) 申请公布日期 2011.09.14
申请号 EP20040027043 申请日期 2004.11.13
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 FAHRENBACH, PETER
分类号 F04D23/00;F04D17/16 主分类号 F04D23/00
代理机构 代理人
主权项
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