发明名称 |
一种健壮性音叉振动式微机械陀螺 |
摘要 |
一种健壮性音叉振动式微机械陀螺,其包括:第一基板及其上的两组对称检测用栅形固定电极、固定于第一基板上的四个锚点、悬于第一基板上方的第二基板组成;第二基板包括左、右结构以及连接左、右结构的中间结构,左结构包括可沿检测方向(y向)振动的一个检测质量块、检测质量块与驱动质量块之间的四个检测弹性梁、可沿垂直于检测方向的驱动方向(x向)振动的一个驱动质量块、与驱动质量块相连的四个驱动弹性梁。该中间结构包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块、通过四个锚点与中间耦合质量块相连的中间耦合弹性梁。本陀螺无需真空封装,且具有较高灵敏度和带宽、较好的抗干扰能力;对环境和加工误差不敏感,具有较好的健壮性。 |
申请公布号 |
CN101298987B |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN200810038905.2 |
申请日期 |
2008.06.13 |
申请人 |
同济大学 |
发明人 |
王安麟;文永蓬;刘广军;姜涛 |
分类号 |
G01C19/56(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01C19/56(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
吴林松 |
主权项 |
一种健壮性音叉振动式微机械陀螺,其特征在于:包括:(a)第一基板(1)及其上的两组对称检测用栅形固定电极(2)、固定于第一基板上的四个锚点(3)、悬于第一基板上方的第二基板(4);(b)第二基板包括左、右结构以及连接左、右结构的中间结构,左结构(5)包括可沿检测方向振动的一个检测质量块(6)、检测质量块与驱动质量块之间的四个检测弹性梁(7)、可沿垂直于检测方向的驱动方向振动的一个驱动质量块(8)、与驱动质量块相连的四个驱动弹性梁(9);右结构(10)与左结构相同且对称;中间结构(11)包括与驱动弹性梁相连的两个中间耦合质量块(12)、通过四个锚点与中间耦合质量块相连的中间耦合弹性梁(13)。 |
地址 |
200092 上海市杨浦区四平路1239号 |