| 发明名称 | 膜图案形成方法、器件、电光学装置以及电子机器 | ||
| 摘要 | 本发明的膜图案形成方法能够确保规定功能并且稳定地形成图案。形成有：将功能液配置在基板上而形成线状的第一膜图案(40)和比该第一膜图案(40)宽度窄且以基端部与第一膜图案(40)连接的第二膜图案(41)。具有：形成间壁(34)的工序，间壁(34)具有与第一膜图案(40)对应的第一开口部分(55)和与第二膜图案(41)对应的第二开口部分(56)；和在第一开口部分(55)配置功能液的液滴，通过功能液的自流动将功能液配置在第二开口部分(56)的工序。第二膜图案(41)的前端部具有欠缺部分(41a)，欠缺部分(41a)具有欠缺了矩形轮廓的形状。 | ||
| 申请公布号 | CN1959954B | 申请公布日期 | 2011.09.14 |
| 申请号 | CN200610143913.4 | 申请日期 | 2006.11.02 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 平井利充;守屋克之 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I;H05K1/16(2006.01)I;H05K3/10(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I;H05B33/12(2006.01)I;B41J2/01(2006.01)I;B41M3/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 一种膜图案形成方法，将功能液配置在基板上，形成线状的第一膜图案；和比该第一膜图案宽度窄且以基端部与所述第一膜图案连接的第二膜图案，其特征在于，具有：形成间壁的工序，所述间壁具有与所述第一膜图案对应的第一开口部分和与所述第二膜图案对应的第二开口部分；和在所述第一开口部分配置所述功能液的液滴，通过所述功能液的自流动将该功能液配置在所述第二开口部分的工序，所述第二膜图案的前端部具有欠缺部分，该欠缺部分具有欠缺了矩形轮廓的形状。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||