多面镜电机的偏心测量装置

摘要

本发明提供一种多面镜电机的偏心测量装置，使多面镜固定在输出轴上并旋转，其特征在于，该装置包括：第一光源；由所述多面镜反射自所述第一光源射出的第一测量光、对所反射的第一反射光的位置进行检测的光学位置检测元件；第二光源；用来将自所述第二光源射出的光线平行化得到第二测量光的光学透镜；检测所述第二测量光随着所述多面镜的转动而透过的透过光的光检测元件；和在所述光检测元件的输出达到峰值的时点计算出所述光学位置检测元件的输出的偏心计算器，其中，所述第二测量光和所述透过光与所述第一测量光和所述第一反射光构成的平面在同一平面上。

主权项

一种多面镜电机的偏心测量装置，使多面镜固定在输出轴上并旋转，其特征在于，该装置包括：第一光源；由所述多面镜反射自所述第一光源射出的第一测量光、对所反射的第一反射光的位置进行检测的光学位置检测元件；第二光源；用来将自所述第二光源射出的光线平行化得到第二测量光的光学透镜；检测所述第二测量光随着所述多面镜的转动而透过的透过光的光检测元件；和在所述光检测元件的输出达到峰值的时点计算出所述光学位置检测元件的输出的偏心计算器，其中，所述第二测量光和所述透过光与所述第一测量光和所述第一反射光构成的平面在同一平面上。