一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法

摘要

本发明涉及气体的分离，具体涉及一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，该方法包括以下步骤：三氯氢硅尾气进入压缩机，经压缩后进入回收冷凝器，尾气中的三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅由气态被冷凝成液态回收，尾气中的不凝气体经加热后进入吸附系统，氯化氢在填料塔中被吸附剂吸附，后经排杂、脱附，氯化氢从尾气中分离出来，分离出的氯化氢再被送至三氯氢硅合成炉回收利用。该方法投资少、运行费用较低、工艺简单，三氯氢硅尾气中的的氯化氢回收率高，回收的氯化氢纯度高。

主权项

一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法，其特征在于，包括以下步骤：(a)对三氯氢硅尾气进行压缩、冷凝，尾气中的SiHCl3、SiH2Cl2和SiCl4被冷凝成液体并被回收；(b)将尾气中的不凝气体加热至45～60℃；(c)加热后的不凝气体进入吸附系统中，氯化氢被吸附系统中填料塔内的吸附剂吸附；所述吸附剂为活性炭和4A分子筛；(d)待填料塔停止吸附后，将净化后的HCl气体从填料塔的塔底通入，同时用负压泵从填料塔的塔顶将填料塔内停留的未被吸附的杂气抽送至中充缓冲罐，进行排杂，排杂过程保持填料塔内压强不会降低，当净化的氯化氢气体前沿移动到塔顶时，排杂结束；(e)用真空泵从填料塔的底部将填料塔中吸附剂吸附的氯化氢抽送至氯化氢缓冲罐；(f)将氯化氢缓冲罐中的氯化氢抽送至三氯氢硅合成炉回收利用。