发明名称 基准部件清扫装置和基准部件清扫方法
摘要 光学方式检测装置(10)的基准部件清扫装置(23)一边通过驱动单元(26)输送基准部件(20),一边使擦拭部件(24)旋转。光学方式检测装置(10)的基准部件清扫装置(23)以使得在擦拭部件(24)与基准部件(20)相接的位置处上述擦拭部件(24)的旋转方向和基准部件(20)的输送方向成为相反方向的方式,将驱动单元(26)的动力传递至擦拭部件(24)和基准部件(20)。
申请公布号 CN102187370A 申请公布日期 2011.09.14
申请号 CN200980140654.1 申请日期 2009.10.14
申请人 株式会社东芝 发明人 加藤琢尔
分类号 G07D7/00(2006.01)I 主分类号 G07D7/00(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 孙蕾
主权项 一种基准部件清扫装置,该基准部件清扫装置用于光学方式检测装置,其特征在于,该基准部件清扫装置具备:反射光的基准部件;擦拭部件,该擦拭部件设于与上述基准部件相接的位置,能够进行对上述基准部件的表面进行清扫的正反旋转;驱动单元,该驱动单元输出正转方向和反转方向中的任一方向的动力;传递单元,该传递单元与上述驱动单元的旋转轴连接,以向预定方向输送上述基准部件的方式将上述驱动单元的动力传递至上述基准部件,以使上述擦拭部件向预定方向旋转的方式将上述驱动单元的动力传递至上述擦拭部件;以及控制单元,对上述驱动单元的旋转方向进行控制。
地址 日本东京都