具有冷却装置的直线电机线圈组装体

摘要

本发明是有关于一种直线电机线圈组装体，其包括：底板(1)、沿长度方向而固定在底板的上表面的一列铁芯、分别设置在铁芯上的多个线圈、以及与多个线圈接触并使第1冷媒通过的第1冷却管。底板的下表面可安装在机床、半导体制造装置中的精密工作台上。在底板的下表面形成有沿长度方向而直线式地延伸的槽(8)。设置在该槽中并使第2冷媒通过的第2冷却管(92、94)是附加地设置在直线电机线圈组装体上。

主权项

一种直线电机线圈组装体，其包括：具有上表面与下表面的底板、沿长度方向固定在所述底板的上下表面中的一面的一列铁芯、分别设置在所述铁芯上的多个线圈、以及与所述多个线圈接触并使第1冷媒通过的第1冷却管，且可将所述底板的上下表面中的另一面安装在工作台上，其特征在于：所述底板具有在所述底板的另一面沿长度方向直线式地延伸的槽，所述直线电机线圈组装体进一步包括设置在所述槽中并使第2冷媒通过的第2冷却管。