发明名称 |
倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺 |
摘要 |
本发明公开了一种倒指数形状、高长-径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺。该工艺用钨丝作为制备探针的材料,将钨丝浸没到碱性电解溶液中作为阳极,用耐腐蚀的铂金丝绕在钨丝周围作为阴极,相继采用直流和占空比可调的脉宽电压信号,确定钨丝段的浸没深度、电解电压大小、溶液浓度等,实时检测电解电流大小,当电解电流曲线斜率大于0.8mA/ms时,自动切断电压信号,停止电解过程。利用本发明工艺可制备呈倒指数型轮廓、针尖半径小于20nm,长-径比高于100:1的扫描隧道显微镜探针,使得扫描隧道显微镜具备了原子级的图像分辨率和测量高-深宽比微纳结构的能力。 |
申请公布号 |
CN102181914A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201110078164.2 |
申请日期 |
2011.03.30 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
居冰峰;陈远流;张威;廉孟冬;钟薇薇 |
分类号 |
C25F3/08(2006.01)I;G01Q60/16(2010.01)I |
主分类号 |
C25F3/08(2006.01)I |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
代理人 |
张法高 |
主权项 |
一种倒指数形状、高长‑径比扫描隧道显微镜探针的制备工艺,其特征在于它的步骤如下:1)将质量百分比纯度为99.9999%、直径为0.25mm‑0.50mm的钨丝拉直截取成10‑15mm的钨丝段作为阳极,将0.5‑1mm的铂金丝绕成直径为8‑10mm的铂金圈作为阴极,将浓度为1mol/L‑3mol/L的 KOH溶液作为电解液;2)把铂金圈置于电解液液面处,并接地,将钨丝段穿过铂金圈中心浸入电解液中,施加电压信号对钨丝段进行电解,当电解电流曲线斜率大于0.8mA/ms时,自动切断电压信号,电解后的钨丝段在氢氟酸溶液或丙酮溶液中浸泡1‑2分钟,以去除探针表面的氧化层,得到倒指数形状、高长‑径比扫描隧道显微镜探针。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 |