提升装置

摘要

本发明公开了一种提升装置，用于移动设备部件，包括蜗杆、蜗轮，蜗轮的中心轴线处连接有丝杆，设备部件与丝杆啮合并可由丝杆带动上下移动。蜗轮与丝杆之间设有减速装置。还包括导轨和滑块，滑块与丝杆啮合并与设备部件固定连接，可由丝杆带动沿导轨滑动。蜗杆连接有转盘，转动转盘可驱动蜗轮蜗杆转动，进而带动设备部件上升和下降。结构简单、使用方便、安全可靠，主要适用于半导体硅片加工设备，也适用于其它的设备。

主权项

一种提升装置，用于移动半导体硅片加工设备的设备部件，其特征在于，包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮的中心轴线处连接有丝杆，所述设备部件与丝杆啮合并可由丝杆带动上下移动；所述的蜗轮通过减速装置与丝杆连接；还包括导轨和滑块，所述滑块与丝杆啮合并与设备部件固定连接，可由丝杆带动沿导轨滑动；所述的蜗杆连接有曲柄，通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动；所述的曲柄包括转盘，所述转盘的中心部位与蜗杆连接；所述转盘的边缘部位连接有把手；所述的转盘设有定位装置。