氢传感器和氢气检测装置

摘要

本发明涉及一种氢传感器和氢气检测装置。在氢传感器的平板光传送路径表面形成有薄膜层，在薄膜层的表面形成有催化剂层。在平板光传送路径与薄膜层之间形成第一分界面，通过向平板光传送路径的背面接合基板而在平板光传送路径与基板之间形成第二分界面。来自光源的光从射入部一边向平板光传送路径的第一端侧扩散一边射入后，在第一分界面与第二分界面之间被交替反射，并向平板光传送路径的第二端侧传送。然后，使该光从第二端侧射出后由射出聚光部向光传感器传送。这时，当利用与氢接触的催化剂层使薄膜层氢化时，则来自第一分界面的反射光量降低。由光传感器检测该降低了的光量，由此来检测氢气。

主权项

一种氢传感器，其特征在于，包括：平板光传送路径；薄膜层，其形成在所述平板光传送路径的表面且在其与所述平板光传送路径之间形成第一分界面；催化剂层，其形成在所述薄膜层表面；基板，其与所述平板光传送路径的背面接合且在其与所述平板光传送路径之间形成第二分界面；射入部，其使从光源发出的光向所述平板光传送路径的第一端侧射入；射出聚光部，其对射入所述第一端侧后而在所述平板光传送路径中传送且从所述平板光传送路径的第二端侧射出的光进行聚光并向光传感器传送；所述射入部具有：使从所述光源发出的光向所述平板光传送路径的厚度方向扩散并射入的机构和/或使从所述光源发出的光向所述平板光传送路径的宽度方向扩散并射入的机构，所述平板光传送路径使向所述第一端侧射入的光通过所述第一分界面和所述第二分界面交替地进行反射并传送，当所述催化剂层与环境中含有的氢气接触时，使所述薄膜层氢化，使所述薄膜层和所述第一分界面的光学反射率可逆地变化。