发明名称 用于纯化三氟化氮的方法
摘要 通过使具有四氟化碳污染物的粗制液体三氟化氮在35至45个大气压的范围的压力下沸腾,以通过汽化将四氟化碳从其中除去,可以有效地获得四氟化碳含量为10ppm或更小的高纯度三氟化氮。
申请公布号 CN101258104B 申请公布日期 2011.09.14
申请号 CN200680032206.6 申请日期 2006.08.31
申请人 索迪夫新材料(株) 发明人 李荣均
分类号 C01B21/083(2006.01)I;C01B21/00(2006.01)I;C01B21/04(2006.01)I 主分类号 C01B21/083(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 王旭
主权项 一种用于纯化具有四氟化碳污染物的粗制液体三氟化氮的方法,所述方法包括使所述粗制液体三氟化氮在‑38至‑50℃的范围内的温度下、在35至45个大气压的范围的压力下沸腾,以通过汽化将四氟化碳从所述液体三氟化氮中除去。
地址 韩国庆尚北道