光学测量设备

摘要

本发明提供了一种用于测量样本(10)，特别是人类皮肤的至少部分为半透明的表面(12)的光学外观的光学测量设备。这种光学测量设备包括：用于用从辐射源(58)发射的辐射光束产生的照射光束(20)照射表面(12)的照射装置(18)；以及用于截获作为样本(10)对入射到表面(12)上的照射光束(20)的响应产生的响应光束(30，32)的检测装置(56)。这种光学测量设备包括可以与样本(10)的表面(12)接触的测量头(14)，所述测量头(14)包括至少一个细长孔径(40)，设计成使得在样本(10)的表面(12)以下的次表面区域(16)内产生的响应光束(30，32)可被检测装置(56)检测，而在表面处直接反射的照射光束(20)被隔断。

主权项

一种用于测量半透明的物体(10)的表面(12)的光学外观的光学测量设备，包括：‑照射装置(19)，用于用照射光束(20)照射表面(12)，其中从辐射源(58)发射的辐射光束产生所述照射光束(20)；‑检测装置(56)，用于截获响应光束(28，30，32)，其中作为样本(10)对入射到表面(12)上的照射光束(20)的响应而产生所述响应光束(28，30，32)，其特征在于所述检测装置(56)包括：‑辐射敏感组件(56a)关于细长孔径(40)对响应光束(32)成像，并且其中所述光学测量设备(9)包括测量头(14)，所述测量头(14)包括带有包括至少一个细长孔径(40)的底板(24)的外壳(22)，其中所述底板(24)布置在样本(10)的表面(12)上，以便执行光学外观测量，其中所述测量头(14)能够与样本(10)的表面(12)接触，其中所述测量头(14)还包括至少一个细长孔径(40)，该细长孔径(40)设计成使得在样本(10)的表面(12)以下的次表面区域(16)内产生的响应光束(30，32)可被检测装置(56)检测，其中所述细长孔径包括让照射光束(20)通过其传播到表面(12)上的照射部分(34)和让响应光束通过其向检测装置(56)传播的检测部分(36)，其中所述测量头(14)内布置有将光纤的照射光束(20)与响应光束(32)屏蔽的挡板(26)，以便在细长孔径(40)内实现照射部分(34)和检测部分(36)，其中在表面上直接反射的照射光束(20)被隔断。